[新聞] 半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚
半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目
2024/07/23 10:25
〔記者洪瑞琴/台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級,但產業界持續朝向更微小的
「埃米(奈米的 10 分之 1)」推進,國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱
團隊利用自行組裝的設備,發揮車庫創業精神,讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈
米溝槽內,可操作精度達到埃米等級,這項成果已發表在國際期刊,受到國際矚目。
研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠
著自行組裝的便宜設備,研發最先進的技術。徐邦昱表示,在研發的過程中需要用到許多
先進儀器,但動輒上千萬元,在工學院與材料系的支持下,學生們以較少經費、自行動手
組裝設備。
團隊成員包括材料系碩士生,楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承,整個實驗室裡都是自行
組裝的設備,像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備,市面上根本找
不到,即使有機會買到也要上千萬元,但團隊花了200萬元就組裝出來,而先進製程需要
用到的無光罩雷射微影系統,市售價格600到1000萬元,團隊則是花了20多萬元就組裝出
。
徐邦昱表示,目前半導體製程主要是在微小的基板上,依靠相近的原子晶格,透過高真空
磊晶設備控制長出晶體,再蝕刻提昇精準度,要讓細小的分子乖乖聽話,長在該長的地方
,很不容易,因此才需要價格昂貴的設備,營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3
奈米(10億分之1公尺)的線寬精度,但持續推向埃米(10 埃米等於 1 奈米)精進,是
產業的必然,目前大家都在努力中。
徐邦昱說明,這項研究成果廣受國際注目的原因,在於打通了埃米級操作分子的多項技術
瓶頸,成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行
為,克服過往認為不可操作的分子運動,將材料的操作精度推進至埃米尺度。
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